記者11日從國家電投黃河水電公司(以下稱“黃河公司”)獲悉,該公司新增800噸電子級(jí)多晶硅產(chǎn)線首批產(chǎn)品10日出爐,標(biāo)志著中國量產(chǎn)電子級(jí)多晶硅企業(yè)產(chǎn)能從2500噸/年擴(kuò)增至3300噸/年,打破了國外壟斷和中國集成電路基礎(chǔ)原材料主要依賴進(jìn)口的局面,對(duì)保障中國集成電路產(chǎn)業(yè)原材料戰(zhàn)略安全具有里程碑意義。
多晶硅材料作為集成電路基礎(chǔ)材料的最前端,生產(chǎn)技術(shù)和市場一直被國外壟斷,成為中國發(fā)展集成電路產(chǎn)業(yè)的瓶頸。
黃河公司新能源分公司副總經(jīng)理張永良介紹,本次技改項(xiàng)目糅合了多項(xiàng)如除硼吸附、渣漿回收等新型工藝和技術(shù),在發(fā)揮原有2500噸/年多晶硅裝置生產(chǎn)能力的前提下,通過新增棒還原爐,對(duì)原有尾氣回收、還原、冷氫化、精餾、精整等6項(xiàng)裝置進(jìn)行工藝系統(tǒng)優(yōu)化改進(jìn)和技術(shù)改造,相繼解決了還原電耗高、尾氣回收裝置處理能力有限等問題,將產(chǎn)能提升至3300噸/年,使國內(nèi)市場占有率超過15%,真正實(shí)現(xiàn)了電子級(jí)多晶硅的“中國制造”。
“多晶硅生產(chǎn)潔凈區(qū)域和工藝系統(tǒng)的施工安裝潔凈度直接影響著成品的質(zhì)量,為此,我們對(duì)施工過程潔凈質(zhì)量進(jìn)行了嚴(yán)格控制,實(shí)現(xiàn)了4臺(tái)技改裝置均一次開車成功,這在國內(nèi)整個(gè)行業(yè)都實(shí)屬罕見。”該技改項(xiàng)目組副主任危勝說。
張永良表示,項(xiàng)目一次性試車成功并順利產(chǎn)出了產(chǎn)品,標(biāo)志著公司已掌握了電子級(jí)多晶硅的生產(chǎn)工藝和質(zhì)量管控的技術(shù)能力,下一步將會(huì)對(duì)出爐產(chǎn)品進(jìn)行純度檢測,根據(jù)雜質(zhì)含量持續(xù)優(yōu)化設(shè)備和工藝參數(shù),提升電子級(jí)產(chǎn)品的產(chǎn)出率。
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